ボールSAW微量水分計の半導体産業への展開を目指す
ボールウェーブ株式会社（本社：宮城県仙台市、代表取締役：赤尾慎吾、以下、「当社」という。）は、国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構（以下「NEDO」という）の2020年度「研究開発型スタートアップ支援事業（旧：研究開発型ベンチャー支援事業）／Product Commercialization Alliance（PCA）」に係る公募に応募し採択されました。
（https://www.nedo.go.jp/koubo/CA3_100248.html）
本公募は提案時から概ね3年で継続的な売り上げをたてる具体的な計画がある研究開発型スタートアップ（Product Commercialization Alliance。以下「PCA」という。）を対象とした助成事業であり、助成率：助成対象経費の2／3以下、助成額：原則2.5億円までとなっております。
最先端の半導体産業においては、半導体基板表面に形成する配線パターンの超高精細化、超薄膜化が極限的に進んでいます。これらの最先端半導体プロセスでは、これまでは問題にされなかったようなごく僅かな不純物でも製品欠陥の原因になりうるため、使用される原材料の不純物を極限まで減らすことが求められています。重要な原材料の一つである超高純度特殊ガスにおいても、常に微量水分の量をモニターしたいという強い要求があります。しかしながら現在使用されている微量水分計では、半導体プロセスで使用中の特殊ガスをインラインで測定し直ちにプロセス制御に反映させるだけの高速応答性が達成されていません。
そこで本研究では、当社の高速応答が可能で小型高感度なセンサ「ボールSAWセンサ※１」を用いた微量水分計FalconTraceおよびFalconTrace mini※２をもとに、最先端半導体プロセスで使用される特殊ガス中の微量水分をインラインでモニターできる装置の製品開発を実施します。
