台湾、中国、および周辺のアジア太平洋地域において半導体産業専用のボールウェーブ微量水分計をTRUSVAL Technologyが販売開始

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ボールウェーブとTRUSVAL Technologyは、最先端の半導体工場でバルクガスおよび特殊ガスを供給しながらガス中の微量な水分をオンライン監視できる特殊ガスキャビネットを共同開発しました。

ボールウェーブ株式会社(本社:宮城県仙台市(日本)、代表取締役:赤尾慎吾)とTRUSVAL Technology Co., Ltd.(本社:苗栗県竹南鎮(台湾(中華民国))、総支配人:Mr. Eric Chien)は、台湾、中国、およびその他のアジア太平洋地域の一部における半導体産業用途に向けたボールウェーブの微量水分センサの独占販売代理店契約について合意しました。
微量水分計は、ボールウェーブが保有するボールSAW技術を応用したセンサの1つです。ボールSAWは固体球上を広がることなく伝播する弾性表面波(SAW:surface acoustic wave)であり、極めて高い感度と非常に高速な応答時間を可能にします(図1)。ボールウェーブの微量水分計製品群は、ボールSAWの特性を測定することで多様なバックグラウンドガス中の微量水分量を決定するための回路とソフトウェアを内蔵しています。
http://ballwave.jp/english/images/ft_catalog_en.pdf
図1 ボールSAW技術による微量水分センサ

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